山东有研半导体的“IGBT用8英寸硅衬底抛光片”项目获中国有色金属工业科学技术二等奖

日前，中国有色金属工业协会、中国有色金属学会联合发布《关于颁发2020年度中国有色金属工业科学技术奖的通知》，山东有研半导体的IGBT用8英寸硅衬底抛光片项目获得2020年度中国有色金属工业科学技术奖二等奖。

据了解，IGBT用8英寸硅衬底抛光片项目的实施，突破了完整8英寸硅单晶生长、8英寸硅片精密加工等关键技术，解决了晶体微缺陷控制、硅片几何参数精密控制的技术难题，研制出晶体微缺陷极少、几何参数高度精密的高品质8英寸轻掺硅片，打破了国外技术壁垒，完全实现进口替代，形成了具有自主知识产权的一系列核心技术。项目整体技术达到国际先进水平，其中部分指标达到国际领先水平。

据悉，项目成功实施成果转化，实现了客观的经济效益，并填补了国内IGBT用8英寸硅衬底抛光片产品的技术空白，批量生产的产品进入市场，累计实现销售超过30万片，销售额近亿元，前景良好；同时项目成果辐射带动了相关配套产业的发展，提升了项目单位现有8英寸硅材料的产品质量和技术，产品在国际上呈现了较好的竞争力，促进了我国高端半导体产业链的完善，使我国半导体设备部件和设备部件用高端硅材料逐步摆脱对国外的依赖，提升了国家竞争力和战略地位，保障国内集成电路产业的持续健康发展。