向“新”而行 以“智”取胜 ！聊城加速培育新一代信息技术产业新质生产力

芯片的生产过程离不开清洗设备。在高唐县隐藏着一个全省目前最大的湿制程设备制造商——山东联盛电子设备有限公司，它是中芯国际、华润微电子等企业的优秀供应商。

3月30日，在山东联盛电子设备有限公司生产车间内，工人们正在组装全自动晶圆腐蚀机。“由我们自主研发的全自动晶圆腐蚀机摆臂速度最快可达0.7秒，不仅速度快、效率高、性能稳定，更重要的是降低了清洗过程中的人为污染，提升了晶圆的良品率。”山东联盛电子设备有限公司办公室主任王如彬说。目前该设备已经取代日本的同类型设备，打破了国外垄断。晶圆越大，清洗设备的研发难度越大。山东联盛电子设备有限公司在攻克了12英寸晶圆单片刻蚀清洗核心部件技术。“今年我们将争取将12英寸晶圆的湿法设备国产化，替代进口，补全半导体湿法制程设备供应链。”王如彬说。去年，山东联盛电子设备有限公司入选山东省集成电路产业财政奖补项目，获奖补资金350万元。

3月31日，中关村高科技企业助力高唐高质量发展恳谈会暨新一代信息技术产业招商推介会在高唐召开，12个项目进行了现场签约。据聊城市工信局副局长王伟臣介绍，去年7月，聊城市出台《关于支持新一代信息技术产业高质量发展的若干措施》《聊城市支持数字经济发展的若干政策》等文件，每年列支近五千万元，重点对数字产品研发应用、平台建设、数字化转型等专项扶持。未来三年，聊城将聚力做强光纤线缆、做优汽车电子设备、做专软件、做实元宇宙等产业，加快培植新一代信息技术产业集群。

（来源：大众日报·大众新闻客户端）